臭氧氧化和降解水中污染物時會受到某些因素的影響。這些包括：程度，系統的pH值，系統的溫度和系統中的催化劑。

因為臭氧在水中的溶解度很小，所以增加臭氧濃度可以改變臭氧在水中的溶解平衡，水中臭氧的濃度增加，從而提高了臭氧氧化的效果。同時，水中臭氧濃度的增加可以使水，直接氧化速率的增加還可以大大增加水中形成的羥基自由基的濃度，有利于氧化降解，它應該繼續。在低臭氧濃度的情況下，增加臭氧濃度可以明顯改善降解效果。但當當臭氧濃度超過某個臨界值時，通過增加臭氧濃度來增加氧化降解效果并不明顯。這主要是因為當臭氧濃度達到一定值時，臭氧濃度相對于水中污染物和羥基的濃度過高當產生堿性自由基時，它們也連續消失，導致水中產生的自由基濃度達到極限。

反應體系的pH值對臭氧氧化降解有很大影響。降解系統的pH值將直接影響羥基，生產各種自由基。根據臭氧氧化機理的自由基生成方程，OH-可以是臭氧分子在水中被誘導自分解產生OH。因此，當系統的pH值降低時，系統中會生成OH-濃度可能太低而無法誘導臭氧分子產生足夠的?OH，因此在低pH的系統中，臭氧主要以分子形式溶于水。因此，在較低的pH值下，系統主要由純臭氧分子組成，它主要被氧化。與間接氧化相比，直接氧化更具針對性，不能氧化大多數有機污染物，僅一些有機不飽和鍵基團可以被氧化，并且氧化效率低。 pH值高時，pH值高時，足夠的OH-可以誘導臭氧分解產生大量自由基，并且系統中的氧化主要是間接氧，當體系的pH值較高時，由于OH的強氧化作用和高效率，氧化降解速度更快。當然，系統的pH值也會影響系統中各種電解質的存在，從而導致氧化降解影響。

（3）系統溫度

系統溫度對反應速率有重要影響。較高的溫度有助于增加臭氧分子產生的自由基的濃度，污染物分子和臭氧分子或羥基自由基的平均分子動能，這有利于污染物分子與臭氧分子或自由基的碰撞，從而增加了氧化降解的速率。但是溫度上升，高含量會導致臭氧分子在水溶液中的溶解度下降，降低臭氧的利用率，不利于氧化降解繼續。

廢水通常包含鐵，銅，錳，鎳和其他可催化或抑制臭氧化的金屬離子角色。國內外研究表明，過渡金屬離子對臭氧氧化具有催化作用。